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산학협력단

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제목
광검출 다이오드 및 그 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2006.05.16
출원일
2003.01.29
공개일
2004.08.06
게시글 내용
 본 발명은 광검출 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래 광검출 다이오드는 암누설전류의 발생이 상대적으로 큰 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 상호 소정면적이 접합된 p형 반도체층 및 n형 반도체층과, 상기 n형 반도체층의 상부에 소정의 형상으로 위치하는 제 1전극과, 상기 제 1전극의 일부 및 n형 반도체층의 동작영역 상에 위치하는 광투과 절연층과, 상기 p형 반도체층의 저면에 접하는 제 2전극을 포함하는 광검출 다이오드에 있어서, 상기 n형 반도체층의 측면에 위치하는 절연층을 더 포함하는 광검출 다이오드를, 그 n형 반도체층의 비동작영역에 실리콘 이온을 주입하는 제조방법을 통해 제조함으로써, 그 절연층에 의해 암누설전류의 발생을 최소화하는 효과가 있다. 

광검출 다이오드 및 그 제조방법 대표 이미지

첨부
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  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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