본 발명은 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판위에 증착된 나노입자 단일막 또는 다층막에 펄스 레이저를 조사시켜 입자를 기판으로부터 선택적으로 분리시킴으로서, 보다 단순하면서도 신속한 패터닝을 실현할 수 있고, 패턴의 형상과 주기 조절이 자유롭게 이루어질 수 있도록 한 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것이다.이를 위해, 본 발명은 단일막 또는 다층막의 나노입자 박막이 증착된 기판의 제공 단계와; 레이저 빔 조사수단에서 프리즘을 통하여 상기 나노입자 박막의 원하는 부위에 펄스 레이저를 조사시키는 단계와; 상기 펄스 레이저의 에너지 밀도가 임계값 이상이면, 나노입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 나노입자와 기판의 결합력보다 크게 되어, 상기 나노입자 박막의 원하는 부위가 기판으로부터 분리되는 패터닝 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법을 제공한다.나노입자, 펄스 레이저, 전극패턴, 패터닝, 기판