모바일 메뉴 닫기
 
전체메뉴
닫기
 

산학협력단

보유 특허 검색

제목
펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법
출원인
연세대학교 산학협력단
공고일
2008.06.17
출원일
2007.03.28
게시글 내용
본 발명은 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판위에 증착된 나노입자 단일막 또는 다층막에 펄스 레이저를 조사시켜 입자를 기판으로부터 선택적으로 분리시킴으로서, 보다 단순하면서도 신속한 패터닝을 실현할 수 있고, 패턴의 형상과 주기 조절이 자유롭게 이루어질 수 있도록 한 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법에 관한 것이다.이를 위해, 본 발명은 단일막 또는 다층막의 나노입자 박막이 증착된 기판의 제공 단계와; 레이저 빔 조사수단에서 프리즘을 통하여 상기 나노입자 박막의 원하는 부위에 펄스 레이저를 조사시키는 단계와; 상기 펄스 레이저의 에너지 밀도가 임계값 이상이면, 나노입자의 열탄성 효과에 의한 힘이 나노입자와 기판의 결합력보다 크게 되어, 상기 나노입자 박막의 원하는 부위가 기판으로부터 분리되는 패터닝 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법을 제공한다.나노입자, 펄스 레이저, 전극패턴, 패터닝, 기판

펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법 대표 이미지

첨부
공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
  • 키워드(검색어)별, 발명자별 특허(기술), 공개특허 한정 검색 가능
  • 연구분야별 비공개 특허(기술)은 지식재산권 담당자 별도 문의
  • 지식재산권 담당자
  • 관련 문의처
    보유특허 검색 페이지 및 담당자 정보 안내
    특허 출원인 (권리자) 전담부서 연락처
    연세대학교 산학협력단 본교 산학협력단 지식재산팀 지식재산팀 양지혜 팀장
    (02-2123-5138 / jh.yan@yonsei.ac.kr)
    연세대학교 원주산학협력단 원주산학협력단 기술경영팀 기술경영팀 오정환 팀장
    (033-760-5251 ~ 5252 / WJDGHKSA@yonsei.ac.kr)