플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 폴리(3-헥실 티오펜)(Ｐ３ＨＴ) 박막의 마이크로패터닝 방법 및 상기 Ｐ３ＨＴ 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법
출원인
연세대학교 산학협력단
출원일
2008.10.02
공개일
2010.04.12
게시글 내용
본 발명은 반도체성 폴리(3-헥실 티오펜)(P3HT)의 마이크로패턴화된 박막을 간단하지만, 확실하게 제조할 수 있는 방법 및 그 적용에 관한 것이다. 본 발명은 프리패턴(pre-pattern)된 마이크로몰드에 P3HT 박막을 스핀캐스팅한 후, 상기 마이크로몰드와 기판을 모두 산소플라즈마처리하여 기판과의 계면에너지를 높여준 후, 마이크로몰드를 기판에 컨포말컨택트(conformal contcat)하는 것만으로도 쉽게 기판으로의 패턴의 전사가 가능한 것을 기술적 특징으로 한다. 마이크로패턴, 폴리(3-헥실 티오펜), P3HT, PEPTP, 유기박막트랜지스터, OTFT
