하이브리드 복합체 필름은 폴리머 필름과, 상기 폴리머 필름 내에 분산된 복수의 유기-무기 복합 입자를 포함한다. 상기 복수의 유기-무기 복합 입자는 각각 무기 입자와, 히드록실 기로 종결된 말단을 가지는 유기 캡핑층을 포함한다. 상기 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법에서는 복수의 무기 입자 각각의 표면에 히드록실 기로 종결된 말단을 가지는 유기 캡핑층을 형성하여 복수의 유기-무기 복합 입자를 형성한 후, 이를 용매에 분산시켜 유기-무기 복합 입자 분산액을 형성하고, 상기 유기-무기 복합 입자 분산액과 폴리머 전구체 조성물과의 혼합액을 형성하고, 상기 혼합액으로부터 코팅막을 형성하고, 상기 코팅막을 경화시킨다. 집적회로 소자는 반도체 소자와, 상기 반도체 소자를 덮는 상기 하이브리드 복합체 필름을 포함한다.