제목

산소 분압 조절을 통한 이종접합 산화물 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법

출원인

연세대학교 산학협력단

공고일

2020.12.04

출원일

2019.07.23

게시글 내용

 본 발명에 따르면, 산화물 박막 증착 시 산소 분압을 조절하고 증착 후 산화물 박막에 환원제 처리를 하여 산화물 박막 내 산소 공공을 조절할 수 있으며, 이를 통해 박막 내 캐리어(carrier) 농도를 조절하여 양의 값을 가지는 Vth와 높은 이동도를 동시에 가질 수 있는 산화물 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법이 개시된다. 

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