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산학협력단

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제목
유기 금속 화합물을 이용하여 박막을 형성하는 방법 및 이로부터 제조된 박막
출원인
주식회사 한솔케미칼, 연세대학교 산학협력단
공고일
2024.04.29
출원일
2021.11.18
공개일
2023.05.25
게시글 내용
 본 발명은 유기 금속 화합물(특히, 희토류 금속을 포함하는 유기 금속 화합물)을 증착하여 우수한 특성의 박막을 제조하는 방법 및 제조된 박막에 관한 것이다. 

유기 금속 화합물을 이용하여 박막을 형성하는 방법 및 이로부터 제조된 박막 대표 이미지

첨부
공개전문PDF 공고전문PDF
  • 자료출처 : KIPRIS (https://www.kipris.or.kr)
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